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제목 30. Clean class란?
작성자 최고관리자 작성일 2014-07-11
이메일 tacs@tacsco.kr 조회수 916
첨부파일

입자수 1/(cf/1cf 1Cubic Feet) 공간 내에 작은 먼지(지름이 0.5μm)몇 개 정도 존재해도 좋은가 하는 규정으로, 공간의 청정도(Clean Class) 기준이 정해져 있습니다.

규격으로는 JIS 방식/FED 규격/ISO 방식이 있습니다만, 당사에서는 가장 많이 쓰이고 있는 FED-STD-2090 JISB9920에 근거하여 표시하고 있습니다.
집진기에서는, 배기 필터의 포집 효율에 따라 어느 Class 대응하고 있는지 알 수 있습니다.
 

필터의 종류는 크게 다음의 종류가 있습니다.
프리 필터 : 포집 효율에 따른 등급이 있습니다. 
중성능 필터 포집 효율에 따른 등급이 있습니다.
고성능 필터일반적으로 0.3um 입자를 90% 포집할 수 있습니다.
④HEPA 필터0.3um 입자를 99.97 이상 포집할 수 있습니다.   
⑤ULPA 필터0.15um 입자를 99.9995 이상 포집할 수 있습니다.

당사에서는 기종에 장착했을 때의 성능과 다음의 기준에 근거한 필터를 사용하고 있습니다
프리 필터45um이상 95 포집   
고성능 필터0.3μ99이상 포집  
③HEPA 필터0.3μ 99.97% 이상 포집

Clean Class

FED.ST2090

100

1000

10000

100000

JISB9920

class5

class6

class7

class8

입자수(ea/㎥)

3,530

35,300

353,000

3,530,000

참고 장소

액정, IC정밀공장

병원
수술실

의약품 공장

컴퓨터 조립공장


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